376.造不如买中夏光刻机夭折始末（上）（2合1） (第3/3页)

项目负责人。”

    然后，王院长笑眯眯地对着徐端颐道：“徐教授，这位是元亨集团的副总裁张思明张总，这次过来是专门了解你的光刻机项目的。”

    徐端颐以为张思明是来买光刻机的，便很老实地道：“张总你好，真是不巧，我们光刻机项目已经终止了，项目组都解散了，已经生产不了光刻机了，我现在都转去研究光盘了……”

    系主任连忙出来打圆场：

    “哎~老徐，你光盘的科研项目贷款不是还没批下来吗？

    反正连开始都没开始，先放一放也不打紧。

    元亨集团的赵德彬赵总你总该知道吧？

    赵总想在洪港建晶圆厂，这可是好几亿丑元的大项目呢！

    这不，张总听你们团队会造光刻机，就想请你们团队过去，专门造光刻机。”

    “那我这光盘……”

    “别光盘了，光刻机才是大事，解散的人可以把他们叫回来！”

    见徐端颐始终一脸难以置信的表情，张思明又把对俞忠钰的那套辞搬了出来，并且再次显摆了一回拉扎的486，让众人感受一波赵德彬的“钞能力”。

    至此，徐端颐才相信了元亨集团是真的有实力支持光刻机研究。

    待众人落座后，徐端颐对张思明缓缓道：

    “张总，我们团队是一个很大的团队，成员来自学校五个系，人数多达上百人。

    我们团队是1971年组建的，只用了一年多，就研发出了中夏第一台光刻机和分步重复照相机，这个成果在1978年获得全国科技大奖。

    从1975年开始，我们采用了直接在半导体晶片上光刻集成电路的方法，开始研发‘自动对准分步投影光刻机’。

    前后历时五年，我们在1980年研制出了中夏第一台‘自动对准分步投影光刻机’，这是咱们中夏第二代光刻机，获得过国都首届科技成果一等奖。

    第二代光刻机在当时已经能批量生产，最细可以加工0.8微米的线，能在单晶片上刻下精细准确的集成电路，填补上了国内的技术空白。

    在1987年，我们团队又开始研发更先进的第三代光刻机。

    当时我们瞄准的是国际先进水平，设计标准是很高的，可光刻的芯片最大面积为10x10平方毫米，实际有效分辨率为1.25微米，工作台行程160x160毫米，可加工4至6英寸的晶片。

    去年年底，第三代光刻机研发成功了。

    我们一共生产了三台，一台留在我们学校的研究所，一台给了中夏科学院109所，一台给了国都半导体器件厂。

    经过大量的实验，我们第三代光刻机与上一代相比，成品率提高了27%。

    我们的成果报上去以后，上面非常重视，领导亲自到学校里考察。

    到了今年1月，上面召集了一大批权威专家，在学校里组织了一场规模很大的鉴定会，对我们团队的第三代光刻机进行鉴定，由物理学泰斗王首武先生担任评审组组长，上面的领导也来了好多。

    鉴定会的每一环节都特别严格，我在水木这么久，这样的排场还是第一次见。

    王守武先生很肯定我们发明的‘在光刻掩模上增加保护膜’这一新方法，还帮我们介绍了一家丑国公司合作生产。

    这之后，我们的第三代光刻机连同使用的镜头一起获得了‘国家科技成果奖’，我们学校也成为了国内唯一一个能够自主研发高端光刻机的单位。

    能得到王首武先生的赞赏是一件非常难得的事，而且我们的第三代光刻机也通过了非常严苛的鉴定，还接到了很多国内单位的订单，这让我们非常高兴，还以为国产光刻机的前景一片光明，很快就能追上国际一流水平。

    万万没想到，我们统共只高兴了两个月。

    等到今年3月，国内各单位纷纷取消了订单，就连跟我们长期合作的中夏科学院109所也不要我们的设备了。

    如此一来，我们的光刻机没了市场，根本卖不出去，上面和学校也不再拨给我们经费，我们的研究项目也不得不中止，现在组里成员都已经解散了。

    光刻机项目没了以后，我只好转去光盘研究。”

    到这里，徐端颐长长地叹了口气，脸上一片愁云惨淡。

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